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国家重点研发妄想课题综合绩效评价会在AG旗舰厅伟业召开

揭晓时间：　2021-11-25

11月23日，国家重点研发妄想“重大科学仪器装备开发”项目“微纳结构动态特征测试仪项目”课题综合绩效评价会，在AG旗舰厅召开。

聚会约请了中科院微电子所、中科院苏州生物医学工程手艺研究所、南开大学、中科院半导体研究所、山东理工大学、北京大学微米/纳米加工手艺国家重点实验室的多位业内专家学者，对各课问题的和审核指标完成情形、研究效果的水平及立异性、效果树模推广及应用远景、课题对项目总体目的的孝顺、人才作育和组织治理等情形举行综合绩效评价。

AG旗舰厅董事长戴林代表项目牵头单位致辞讲话，天津市科技局高新随处长谭振东、天津滨海高新区科技生长局局长王祺出席聚会。谭振东处长充分一定了AG旗舰厅伟业牵头的项目组自动肩负国家使命的能力和刻意，证实晰AG旗舰厅伟业作为战略科技实力的手艺立异能力。

该项目由AG旗舰厅牵头，团结余姚舜宇智能光学手艺有限公司、中国科学院长春光学细密机械与物理研究所、天津大学、中国航空工业集团公司北京长城航空测控手艺研究所、歌尔股份有限公司、清华大学、长春光华微电子装备工程中心有限公司共8家单位配合肩负。项目下设6个研究课题，历时三年，针对MEMS微纳器件结构细腻、系统重大、难以举行品质综合检测的问题，在进一步提高激光多普勒测振性能的基础上，团结频闪微视觉和显微干预手艺集成开发微纳结构动态特征测试仪，实现MEMS器件三维振动及外貌形貌的准确丈量，现在已完成了仪器装备开发事情，仪器手艺停当度评估抵达9级标准，实现了仪器工程化和工业化推广，各课题均通过专家组的综合绩效评价、顺遂验收。